비파괴방식 (1) 썸네일형 리스트형 각분해 광전자 분광법 데이터 유형, 분석 유형 1. 각분해 광전자 분광법 데이터 유형 ARXPS(Angle resolved XPS, 각분해 광전자 분광법) : 3가지 유형의 비파괴 깊이 정보를 제공 1) Relative depth plots (RDP) : 로그 비율 사용 원소별 깊이 분포 정보를 알수 있습니다. 2) 단일 및 다층 필름 두께 측정 가능 Beer-Lambert 방정식사용 I = I∞exp(-d/λcosθ) 3) Reconstructed depth profiles(재구성된 깊이 프로파일) : 최대 엔트로피 방법 사용 2. 각분해 광전자 분광법 분석 유형 1) Sample tilting(일반적인 ARXPS) 2) Parallel angle resolved XPS (PARXPS) : No tilting the sample 고체 내 전자의 유.. 이전 1 다음
