Combination electron beam and Ion gun (1) 썸네일형 리스트형 광전자 방출 시 하전현상, 데이터에 미치는 영향, 전하 보상 방법 1. 광전자 방출 시 하전현상 XPS 분석에서 X선 소스에서 발생한 광자가 샘플 표면에 닿으면 광전자가 방출됩니다. 그림1에서 보는 것처럼 표면이 전기적으로 절연되어 있으면 광전자 방출로 인해 표면에 양전하가 축적됩니다. 이를 전자가 부족한 현상 하전현상(charging effect)라고 부릅니다. 단색이 아닌 소스(Non monochromated X-ray source)가 XPS 분석에 사용되는 경우 일반적으로 시료 영역에 전하의 영향을 제한하기에 충분한 수의 전자가 있게 됩니다. 2. 데이터에 미치는 영향 그러나 XPS 측정을 위해 단색 X선 소스(Monochromated X-ray source)를 사용하는 경우 전하를 보충하기에는 너무 적은 수의 표유 전자가 있고 그 결과 양전하가 XPS 스펙트럼에.. 이전 1 다음
