표면분석 기술 정의, 표면 분석 기법 예시
1. 표면 분석 기술 정의 표면 연구 및 분석에는 물리적 및 화학적 분석 기술이 모두 포함됩니다. 현대의 표면분석 방법은 진공속에 있는 시료 표면의 최상부 1~10nm를 분석합니다. 분석기법으로는 X선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS), Auger 전자 분광법(Auger electron spectroscopy, AES), 저에너지 전자 회절법(Low-energy electron diffraction), 전자 에너지 손실 분광법(Eletron energy loss spectroscopy), 열 탈착 분광법(Thermal desorption spectroscopy, TDP), 이온 산란 분광법(Ion scattering spectroscopy, ISP), 2..
