XPS 측정깊이 (1) 썸네일형 리스트형 XPS 측정 깊이와 수소, 헬륨 측정 불가 원인 1. XPS 측정 깊이 XPS는 튕겨 나오는 core electron의 운동에너지와 시료를 이루고 있는 물질에 따라 달라지기는 하지만 보통 10 nm 정도 깊이에서 나오는 광전자를 분석하기 때문에 표면에 매우 민감한 분석 기법이라고 할 수 있습니다. 사실 X-ray source가 샘플에 맞았을 때 X-ray가 침투하는 깊이는 수 μm(~5 um)입니다. 그런데 고작 10 nm 정도밖에 되지 않는 깊이의 전자만 분석에 쓸 수 있는데요, XPS 측정 깊이가 왜 그 정도뿐인지를 이해하려면 고체 내에서 전자의 이동에 영향을 미치는 물리적 과정을 이해해야 합니다. 고체 내에서 전자가 방출되는 과정을 생각해 보면 3단계로 나눌 수 있습니다. 첫째, 에너지를 흡수하여 들뜨는 단계 둘째, 들뜬 전자의 운동에너지를 가지.. 이전 1 다음
