XPS분석기 (1) 썸네일형 리스트형 에너지 분석기와 전송렌즈 역할과 분류 1.에너지 분석기( Energy Analyzer) 역할과 분류 : 주어진 에너지(pass energy)의 전자만 검출기 슬릿과 검출기 자체에 도달할 수 있도록 허용하는 장치 XPS에서 주로 사용되는 분석기는, 동심원 반구형 분석기(Concentric Hemispherical Analyser, CHA) 또는 구형 섹터 반구형 섹터 분석기(Hemispherical sector Analyser, HSA) 또는 구형 섹터 분석기(Spherical sector Analyser, SSA) 라고 불리웁니다. 전자가 통과할 수 있는 간격이 있는 한 쌍의 동심형 반구형 전극으로 구성됩니다. 샘플과 분석기 사이에는 일반적으로 렌즈 또는 렌즈 시리즈가 있습니다. 샘플에서 방출되는 전자의 운동 에너지는 일반적으로 분석기가 매.. 이전 1 다음
