XPS응용과활용 (1) 썸네일형 리스트형 엑스선 광전자 분광기 분석 데이터 활용, 기타 응용 분야, 한계 1. 엑스선 광전자 분광기 분석 데이터 활용 1) 원소의 성분 분석 시료 내 어떤 원소가 들어있는지 확인하기 위해서는 전 에너지 영역을 조사해야 합니다. 이를 Survey scan 혹은 Wide scan이라고 부릅니다. 이 때 구성 원소들은 고유한 스펙트럼을 가지게 되므로 수소, 헬륨을 제외한 원자번호 3번 이상의 원소 성분 분석이 가능합니다. 2) 원소의 상태 분석 결합에너지는 원자를 둘러싼 화학적 환경에 따라 달라집니다. 즉, 원자의 화학적 결합상태가 다르면 결합에너지의 값은 수 eV가 변화하기 때문에 이 값에서 화학적 결합상태와 원자가 전자의 상태를 확인할 수 있습니다. 3) 상대 정량 분석 시료의 표면에서 튀어나오는 광전자 피크의 단면적이나 높이를 이용하여 시료를 구성하고 있는 원소의 조성비와 상.. 이전 1 다음
