XPS 분석시 진공이 필요한 이유 (1) 썸네일형 리스트형 초고진공 상태 유지 조건, XPS 분석 시 초고진공 필요 이유 1. XPS 분석 시 분석 챔버에 UHV(초고진공) 상태 유지 조건 XPS 광전자분광법에서 가장 중요한 부분 중 한 가지는 진공에 대하여 이해하는 것입니다. XPS 분석 데이터에서 문제가 발생할 수 있는 부분이 진공과 관련된 것이 많기 때문인데요, 특히 XPS 분석은 초고진공(Ultra High Vacuum, UHV)에서 측정을 하기 때문에 진공에 대한 기본 지식을 먼저 공부한다면 X-ray 광전자 분광법에서 왜 초고진공이 필요한지 자연스럽게 이해할 수 있으리라 생각됩니다. 1) 진공(Vacuum) 정의 진공은 물질, 즉 입자가 전혀 없는 공간을 말합니다. 완벽한 진공은 0 Torr 의 압력에 해당하지만 이러한 진공도는 현실에서 존재할 수 없다고 말할 수 있습니다. 진공의 분류는 다음과 같습니다. Atm.. 이전 1 다음
